Giáo trình oxy hóa nhiệt

Sự phụ thuộc vào định hướng tinh thể của đế Si 􀂄 Là sự phụ thuộc của ks vào các mặt tinh thể: ks(111) > ks(100). Do mật độ bề mặt các nguyên từ Si khác nhau: tại mặt (100) là 7.1014 cm-2, tại (111) – 8. 7.1014 cm-2. 􀂄 Mật độ nguyên tử càng cao, số các liên kết có sẵn để tham gia phản ứng hóa học càng lớn. 􀂄 Sự khác biệt càng lớn, nếu chiều dày các lớp SiO2 càng nhỏ.