Giáo trình Kỹ thuật cảm biến (Trình độ: Cao đẳng) - Phần 1

Biến trở với màng mỏng kim loại. Với phương pháp phun phủ hay phun bụi catot người ta có thể tạo một lớp kim loại thực phẳng trên một nền thủy tinh. Vật liệu có thể là hợp kim Ni/Cr hay oxit kim loại Ta₂O₅. Màng mỏng kim loại có bề dày khoảng 1μm. Trong các loại biến trở trên chỉ có loại biến trở với lớp polymer là thích hợp hơn cả cho công việc định vị và tính khoảng cách. Với bề mặt trơn láng và ít bị mài mòn, loại biến trở này có thể chịu đựng được rất nhiều lần dịch chuyển của con chạy mà đặc tính kỹ thuật không bị thay đổi. Loại cảm biến này được dùng nhiều trong các lĩnh vực như: Kỹ thuật xe hơi, định vị trong một hệ thống đo đạc và ngay cả tính hệ số góc cho việc điều chỉnh động cơ bước, vì với cách này sự thay đổi góc được chuyển đổi vô nấc. Độ dầy của lớp polymer khoảng từ 10 20μm và chịu đựng được nhiệt độ đến 150⁰C. Vật liệu chế tạo các con chạy là hợp kim của các kim loại quí như: Pd,Pt,Au và Ag. Với các hợp kim này sự hình thành các lớp dẫn điện kém do ảnh hưởng của khí hậu không xảy ra. Do vậy giữa con chạy và màng polymer luôn luôn có sự tiếp xúc điện rất tốt. Các lớp polymer này được chế tạo với phương pháp in lụa thật thận trọng trong điều kiện sạch không có bụi. Sau đó được làm cứng lại qua sự nung nóng ở nhiệt độ 150⁰C đến 250⁰C. Lớp polymer có thể chịu đựng được 10⁷ lần dịch chuyển của con chạy mà điện trở giữa con chạy và lớp polymer không hề gia tăng.